信息记录介质用玻璃基板、信息记录介质用玻璃基板的制造方法以及制造装置

摘要

研磨步骤包括以下步骤：将玻璃基板和托架配置在太阳齿轮(40)与内啮合齿轮(50)之间；在使托架的外周与齿面(42、52)啮合的状态下，使托架旋转，对玻璃基板的表面进行研磨。全部的齿面(42)和/或全部的齿面(52)包括具有从齿尖凹陷的形状的凹部(41、51)，当托架旋转时，托架的外周与凹部(41、51)啮合。设托架的节圆直径为DC(单位：m)、凹部(41、51)的从齿尖算起的凹陷深度为d(单位：mm)，则0.24≦d/DC≦1.89的关系成立。

主权项

一种信息记录介质用玻璃基板的制造方法，该制造方法具有对玻璃基板的表面进行研磨的研磨步骤，其中，所述研磨步骤包括以下步骤：将玻璃基板和托架配置在太阳齿轮与内啮合齿轮之间；在使所述托架的外周与所述太阳齿轮和所述内啮合齿轮这两者的齿面啮合的状态下，使用所述太阳齿轮和所述内啮合齿轮使所述托架旋转，使所述玻璃基板相对于研磨垫的研磨面滑动接触，对所述玻璃基板的表面进行研磨，所述太阳齿轮的全部齿面和/或所述内啮合齿轮的全部齿面包括凹部，所述凹部具有从齿尖起向相对于所述托架的旋转轴正交的方向凹陷的形状，当所述托架旋转时，所述托架的所述外周与所述凹部啮合，设所述托架的节圆直径为DC(单位：m)、在相对于所述旋转轴正交的方向上的所述凹部的从所述齿尖算起的凹陷深度为d(单位：mm)，则0.24≦d/DC≦1.89的关系成立。