发明名称 一种抑制InAs量子点中In偏析的生长方法
摘要 本发明公开了一种抑制InAs量子点中In偏析的生长方法,其包括:在衬底上生长缓冲层后,在缓冲层上生长InAs量子点层,接着在InAs量子点层上生长AlAs层,最后在AlAs层上生长GaAs盖层。通过采用本发明的InAs量子点生长方法,能够很好地抑制InAs量子点中In原子的偏析,使得响应波长红移,向通信领域使用的1.3um波长靠近,能很好地应用于1.3-1.5um的通信领域中,同时使得其制作的太阳能器件开路电压增加。本发明可广泛应用于InAs量子点生长领域中。
申请公布号 CN104810256A 申请公布日期 2015.07.29
申请号 CN201510160441.2 申请日期 2015.04.03
申请人 华南师范大学 发明人 何苗;庞永震;郑树文
分类号 H01L21/20(2006.01)I;H01L33/00(2010.01)I 主分类号 H01L21/20(2006.01)I
代理机构 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 代理人 郑莹
主权项 一种抑制InAs量子点中In偏析的生长方法,其特征在于:该方法包括:A、在衬底上生长缓冲层;B、在缓冲层上生长InAs量子点层;C、在InAs量子点层上生长AlAs层;D、在AlAs层上生长GaAs盖层。
地址 510630 广东省广州市天河区中山大道西55号