发明名称 |
一种抑制InAs量子点中In偏析的生长方法 |
摘要 |
本发明公开了一种抑制InAs量子点中In偏析的生长方法,其包括:在衬底上生长缓冲层后,在缓冲层上生长InAs量子点层,接着在InAs量子点层上生长AlAs层,最后在AlAs层上生长GaAs盖层。通过采用本发明的InAs量子点生长方法,能够很好地抑制InAs量子点中In原子的偏析,使得响应波长红移,向通信领域使用的1.3um波长靠近,能很好地应用于1.3-1.5um的通信领域中,同时使得其制作的太阳能器件开路电压增加。本发明可广泛应用于InAs量子点生长领域中。 |
申请公布号 |
CN104810256A |
申请公布日期 |
2015.07.29 |
申请号 |
CN201510160441.2 |
申请日期 |
2015.04.03 |
申请人 |
华南师范大学 |
发明人 |
何苗;庞永震;郑树文 |
分类号 |
H01L21/20(2006.01)I;H01L33/00(2010.01)I |
主分类号 |
H01L21/20(2006.01)I |
代理机构 |
广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 |
代理人 |
郑莹 |
主权项 |
一种抑制InAs量子点中In偏析的生长方法,其特征在于:该方法包括:A、在衬底上生长缓冲层;B、在缓冲层上生长InAs量子点层;C、在InAs量子点层上生长AlAs层;D、在AlAs层上生长GaAs盖层。 |
地址 |
510630 广东省广州市天河区中山大道西55号 |