用于检测和测量单层和多层物体中的界面性质的系统和方法

摘要

一种用于确定第一层与第二层之间的界面处的材料性质的系统包括：将电磁辐射输出到样品的发送器、接收被样品反射或透射通过样品的电磁辐射的接收器、以及数据获取装置。数据获取装置被配置为：对被样品反射或透射通过样品的电磁辐射进行数字化，以产生波形数据，其中，该波形数据表示被样品反射或透射通过样品的辐射，该波形数据具有第一量值、第二量值和第三量值。要确定的材料性质通常是第一层和第二层之间的粘附强度。

主权项

一种用于确定在样品的第一层与第二层之间的界面处的粘附强度的方法，该方法包括：将电磁辐射输出到样品；接收被样品反射或透射通过样品的电磁辐射；对被样品反射或透射通过样品的电磁辐射进行数字化，以产生波形数据，其中，该波形数据表示被样品反射或透射通过样品的辐射，该波形数据具有第一量值、第二量值和第三量值；其中，第一量值表示提供给第一层的顶表面界面的电磁辐射的反射部分或透射部分，第二量值表示提供给第一层与第二层之间的界面的电磁辐射的反射部分或透射部分，第三量值表示提供给第二层的底表面界面的电磁辐射的反射部分或透射部分；以及通过分析第二量值和/或第三量值，确定样品的第一层与第二层之间的粘附强度。