发明名称 |
基于受激辐射的迈克尔逊荧光干涉显微测量装置 |
摘要 |
基于受激辐射的迈克尔逊荧光干涉显微测量装置属于表面形貌测量技术领域;该测量装置包括激光器、沿光线传播方向配置在激光器直射光路上的会聚物镜、第一针孔、准直扩束物镜和分光棱镜;配置在分光棱镜反射光路上的聚焦物镜、位移驱动器、参考镜、分光棱镜和被测件;配置在分光棱镜透射光路上的成像会聚物镜、窄带滤光片、第二针孔、探测器;所述的被测件和参考镜表面采用真空蒸发镀膜法进行镀膜;这种通过镀膜改变被测面的表面特性的设计,保证测量光经被测面反射后能够返回探测系统,解决了高NA和高斜率表面检测的难题,适用于高NA和高斜率球面、非球面和自由曲面三维形貌的超精密测量。 |
申请公布号 |
CN103115582B |
申请公布日期 |
2015.07.29 |
申请号 |
CN201310033080.6 |
申请日期 |
2013.01.29 |
申请人 |
哈尔滨工业大学 |
发明人 |
刘俭;谭久彬;王伟波;张拓 |
分类号 |
G01B11/24(2006.01)I |
主分类号 |
G01B11/24(2006.01)I |
代理机构 |
哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 |
代理人 |
张伟 |
主权项 |
基于受激辐射的迈克尔逊荧光干涉显微测量装置,其特征在于包括激光器(1)、沿光线传播方向配置在激光器(1)直射光路上的会聚物镜(2)、第一针孔(3)、准直扩束物镜(4)和分光棱镜(5);配置在分光棱镜(5)反射光路上的数值孔径小于0.2的聚焦物镜(6)、位移驱动器(7)、参考镜(8)、分光棱镜(9)和被测件(10);配置在分光棱镜(5)透射光路上的成像会聚物镜(11)、中心波长为610nm,带宽为50nm的窄带滤光片(12)、第二针孔(13)、探测器(14);所述的被测件(10)和参考镜(8)表面采用真空蒸发镀膜法进行镀膜。 |
地址 |
150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号 |