功能设备的制造方法、场效应晶体管和薄膜晶体管

摘要

本发明之一的功能设备的制造方法依次包括：功能固体材料前驱体层形成工序，通过在基材上涂布功能液体材料来形成功能固体材料的前驱体层；干燥工序，将前驱体层加热至80℃-250℃范围内的第一温度，以事先降低前驱体层的流动性；模压工序，在将前驱体层加热至80℃-300℃范围内的第二温度的状态下，对前驱体层施行模压加工，从而在前驱体层形成模压结构；功能固体材料层形成工序，将前驱体层以高于第二温度的第三温度进行热处理，由此从前驱体层形成功能固体材料层。

主权项

一种功能设备的制造方法，其特征在于，包括：功能固体材料前驱体层形成工序，通过在基材上涂布功能液体材料来形成功能固体材料的前驱体层；干燥工序，将所述前驱体层以80℃－250℃范围内的第一温度加热；模压工序，在将所述前驱体层加热至80℃－300℃范围内的第二温度的状态下，对所述前驱体层施行模压加工，由此在所述前驱体层形成模压结构；功能固体材料层形成工序，将所述前驱体层以高于所述第二温度的第三温度进行热处理，由此从所述前驱体层形成所述功能固体材料层，其中，所述功能液体材料是含有选自：含有金属烷氧基化合物的溶液、含有金属有机酸盐的溶液、含有金属无机酸盐的溶液、含有金属卤化物的溶液、含有包含金属、氮、氢的无机化合物的溶液、含有金属氢化物的溶液、含有金属纳米粒子的溶液以及陶瓷微粒子中的至少一种的溶液。