蜂窝式MEMS谐振硅微陀螺仪及其加工方法

摘要

本发明公开一种蜂窝式MEMS谐振硅微陀螺仪，包括刻有信号引线的玻璃基底和安装于玻璃基底上的主单元，主单元包括蜂窝状振子单元、中心支撑柱、中心电极以及离散电极组件；蜂窝状振子单元安装于玻璃基底的中心位置，整体呈正六边形中心电极设置于玻璃基底的中心；中心支撑柱安装于蜂窝状振子单元的中心位置，且中心支撑柱向下伸出蜂窝状振子单元键合安装于中心电极；离散电极组件键合安装于玻璃基底且与玻璃基底的信号引线相连接，且设置于蜂窝状振子单元四周，离散电极组件包括检测电极、校正电极、驱动电极以及驱动检测电极。本发明外本发明是全对称结构，能够实现全解耦，有利于提高检测精度和灵敏度。

主权项

一种蜂窝式MEMS谐振硅微陀螺仪，其特征在于：包括刻有信号引线的玻璃基底和安装于玻璃基底上的主单元，所述主单元包括蜂窝状振子单元、中心支撑柱、中心电极以及离散电极组件；所述蜂窝状振子单元安装于玻璃基底的中心位置，整体呈正六边形，整个正六边形内部均匀排列有呈正六边形的振子，其且每条上均呈线形状排列有三十个振子；所述中心电极设置于玻璃基底的中心；所述中心支撑柱安装于蜂窝状振子单元的中心位置，且中心支撑柱向下伸出蜂窝状振子单元键合安装于中心电极；所述离散电极组件键合安装于玻璃基底且与玻璃基底的信号引线相连接，且设置于蜂窝状振子单元四周，离散电极组件包括检测电极、校正电极、驱动电极以及驱动检测电极。