冷却装置及应用该冷却装置的光刻机

摘要

本发明公开了一种冷却装置及应用该冷却装置的光刻机，该冷却装置包括：至少一水套，冷却对象设置于该水套内，所述水套包括水套体和水管，所述水管包括内管和外管，所述水管的一端设置有第一接头，用于实现水流的回转；设置于冷却对象附近的至少一温度传感器，用于监测所述冷却对象的温度；通过分流急流管与水管连通的分流急流板，该分流急流管上设置有调节阀；通过传输管与该分流急流板连通的循环水控制单元以及用于接收所述温度传感器感测值的温度控制单元。本发明利用内管和外管设置，使流体动力产生的扰动力在管内相互平衡和抑制，以此减少冷却水管对冷却对象，将原来分别作用于冷却对象的力，改为相互作用在内部的力。

主权项

一种冷却装置，包括：至少一水套，冷却对象设置于该水套内，所述水套包括水套体和缠绕在所述水套体外壁的水管，所述水管包括内管和套设在所述内管上的外管，所述水管的一端设置有第一接头，用于实现水流的回转；至少一设置于所述冷却对象附近的温度传感器，所述温度传感器用于监测所述冷却对象的温度；通过分流急流管与所述水管连通的分流急流板，该分流急流板通过该分流急流管向所述水管提供循环水并接收该水管内的回流水，该分流急流管上设置有调节阀；通过传输管与该分流急流板连通的循环水控制单元，用于控制循环水的温度，并通过该传输管向该分流急流板提供循环水；用于接收所述温度传感器感测值的温度控制单元，所述温度控制单元根据冷却对象的温度值调整该循环水控制单元提供的循环水的温度和调节阀的打开程度。