升降针机构

摘要

本实用新型提供了一种升降针机构，包括：第一支撑板、第二支撑板、弹性装置、升降针、感应装置以及气缸。当气缸带动第二支撑板及第一支撑板向上运动将晶圆顶起时，如果所述静电卡盘对所述晶圆仍然有向下的静电吸附力，进而所述晶圆对所述第一支撑板产生一个向下的作用力，所述第一支撑板在该作用力下向下移动，引起所述弹性装置产生形变，带动所述第一支撑板向所述第二支撑板靠近，当所述第一支撑板与所述第二支撑板之间达到一定的距离时，所述感应装置被触发，使所述气缸停止工作，从而使得所述升降针机构向下移动，避免了所述升降针机构与所述静电卡盘同时对所述晶圆施加方向相反的力，保证了所述晶圆的安全。

主权项

一种升降针机构，其特征在于，包括：第一支撑板；第二支撑板，所述第二支撑板位于所述第一支撑板的正下方；至少一个弹性装置，所述第一支撑板和所述第二支撑板通过所述弹性装置连接；多个升降针，所述多个升降针位于所述第一支撑板的上表面；至少一个感应装置，所述感应装置感应所述第一支撑板与第二支撑板之间的相对距离；以及气缸，位于所述第二支撑板的下表面，所述气缸和感应装置信号连接；当所述感应装置感应到所述第一支撑板与第二支撑板之间的相对距离小于一特定距离时，所述感应装置向所述气缸发出一控制所述气缸停止向上顶起所述第二支撑板的信号。