| 摘要 |
<p>본 발명의 1의 태양에 관한 다이싱 장치는 워크를 재치하는 워크 테이블과, 상기 워크의 가공을 하는 가공수단과, 상기 워크 테이블 상의 상기 워크를 촬상하는 촬상수단과, 상기 워크 테이블과 상기 가공수단과 상기 촬상수단을 상대적으로 이동시키는 복수의 이동수단과, 상기 촬상수단과 대향 하도록 상기 워크 테이블과 동일한 이동수단에 설치되어 상기 촬상수단이 갖춘 방향으로 향하여 촬상을 하는 얼라인먼트 카메라를 구비한 것을 특징으로 한다. 이러한 다이싱 장치에 의하면, 더미 워크의 가공을 하는 일 없이 촬상수단과 가공수단의 상대위치를 용이하게 계측하는 것이 가능해지고, 다이싱 장치의 효율을 낮추는 일 없이 양호한 다이싱 가공을 하는 것이 가능해진다.</p> |
