DEVICE FOR VERTICAL GALVANIC METAL, PREFERABLY COPPER, DEPOSITION ON A SUBSTRATE AND A CONTAINER SUITABLE FOR RECEIVING SUCH A DEVICE

摘要

본 발명은 기판상에 수직 갈바닉 금속, 바람직하게는 구리, 성막을 위한 디바이스, 이러한 디바이스 및 처리할 기판을 수용하는데 적합한 적어도 기판 홀더를 수용하는데 적합한 컨테이너, 기판상에 갈바닉 금속, 특히 구리, 성막을 위해 상기 컨테이너의 내측에서 이러한 디바이스의 용도에 관한 것이다.