发明名称 Apparatus for controlling air knife in plating process and Method for controlling the same
摘要 <p>본 발명은 에어나이프에 연결되는 공기공급관과, 상기 공기공급관에 연결되어 블로워 룸안의 공기를 상기 공기공급관에 공급하는 블로워를 포함하여 에어나이프에 공기를 공급하는 공기공급부와, 상기 에어나이프에 질소를 공급하는 질소공급부를 포함하는 에어나이프의 압력 제어장치로서, 입구가 상기 질소공급부에 연결되고 출구가 상기 블로워 룸 내부에 연결되는 질소공급관;및 상기 블로워 룸 내부에 유입된 질소를 상기 공기공급관을 통하여 상기 에어나이프에 공급하도록 상기 블로워를 제어하는 제어부를 포함하는 도금공정에서 에어나이프의 압력 제어장치를 제공하여, 압력 제어의 응답성을 향상시키며, 공정의 전환을 위한 제어밸브의 제어과정에서 발생하는 헌팅 현상을 방지할 수 있다.</p>
申请公布号 KR101540028(B1) 申请公布日期 2015.07.28
申请号 KR20130139153 申请日期 2013.11.15
申请人 发明人
分类号 C23C2/16;C23C2/20;C23C2/40 主分类号 C23C2/16
代理机构 代理人
主权项
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