| 摘要 |
<p>본 발명은 따른 각속도 센서는 질량체부와, 상기 질량체부를 지지하는 내부 프레임과, 상기 질량체부를 상기 내부 프레임에 각각 연결하는 제1 가요부와, 상기 질량체부를 상기 내부 프레임에 각각 연결하는 제2 가요부와, 상기 내부 프레임을 지지하는 외부 프레임과, 상기 내부 프레임과 상기 외부 프레임을 연결하는 제3 가요부와, 상기 내부 프레임과 상기 외부 프레임을 연결하는 제4 가요부를 포함하고, 상기 내부 프레임, 제2 가요부 및 제4 가요부에는 Oxide층이 형성된다.</p> |
