| 摘要 |
피가공 대상물 내면과의 간섭 가능성의 증대를 초래하지 않고, 피가공 대상부와의 거리를 일정하게 유지하면서 레이저 가공을 실시할 수 있는 레이저 조사 장치 및 레이저 조사 방법을 제공한다. 실시형태의 레이저 조사 장치는, 레이저광을 레이저 광원으로부터 안내하여 레이저광 출사부로부터 출사되는 레이저광 전송 기구와, 레이저광을 집광하는 집광 기구와, 집광 기구를 내부에 수용하고 유지함과 함께 레이저광을 조사하기 위한 개구부를 갖는 통 형상의 하우징과, 유체를 하우징 내에 공급하고, 개구부에서 분출시키는 유체 공급 기구와, 하우징에 배설되고, 피가공물과 맞닿음으로써 집광 기구와 피가공물의 거리를 일정하게 유지하는 위치 결정 기구와, 개구로부터 분출된 유체가, 하우징과 피가공물 사이를 하우징의 축 방향을 따라 흐르도록 가이드하는 유체 가이드 기구를 구비한다. |
