发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR ATTACHING SUBSTRATES
摘要 <p>본 발명은 OLED가 형성된 기판과, OLED를 보호하기 위해 기판에 안착된 보호 필름에 대한 합착공정을 복수로 진행할 수 있는 기판 합착 장치 및 기판 합착 방법을 제공하기 위하여,OLED가 형성된 제 1기판 및 상기 제 1기판에 안착된 제 1보호 필름을 갖는 복수 개의 제 1공정기판과 상기 복수 개의 제 1공정기판 사이에 배치되는 제 1열 전달부가 복수로 적층되어 반입되는 챔버 및 상기 챔버 내부에 배치되며 상기 복수 개의 제 1공정기판과, 상기 복수 개의 제 1공정기판 사이에 각각 배치되는 복수 개의 상기 제 1열 전달부가 안착되는 제 1히팅 플레이트 및 상기 챔버 내부에서 상기 제 1히팅 플레이트에 마주하도록 배치되는 가압 플레이트 및 상기 제 1히팅 플레이트를 상기 가압 플레이트로 이송시켜, 상기 제 1기판들과 상기 제 1보호 필름들이 열 합착되도록 이송부를 포함를 포함한다. 이에, OLED가 지지된 기판과, OLED를 보호하기 위해 기판에 안착된 보호 필름에 대한 합착공정을 복수로 진행할 수 있어 디스플레이 장치의 생산성이 향상되는 효과가 있다.</p>
申请公布号 KR101540047(B1) 申请公布日期 2015.07.28
申请号 KR20130166040 申请日期 2013.12.27
申请人 发明人
分类号 H01L51/56;H05B33/10 主分类号 H01L51/56
代理机构 代理人
主权项
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