| 摘要 |
액체 (Lq) 가 공급되는 투영 광학계 (PL) 바로 아래의 제 1 영역에 일방의 스테이지 (WST1 (또는 WST2)) 가 위치하는 제 1 상태로부터 타방의 스테이지 (WST2 (또는 WST1)) 가 제 1 영역에 위치하는 제 2 상태로 천이시킬 때에, 양 스테이지가, X 축 방향에 관해서 근접한 상태를 유지하여 X 축 방향으로 동시에 구동된다. 이 때문에, 투영 광학계와 그 바로 아래에 있는 특정 스테이지 사이에 액체가 공급된 채인 상태로, 제 1 상태로부터 제 2 상태로 천이시키는 것이 가능해진다. 이것에 의해 일방의 스테이지측에서의 노광 동작의 종료로부터 타방의 스테이지측에서의 노광 동작 개시까지의 시간을 단축할 수 있게 되어, 높은 스루풋으로 처리가 가능해진다. 또한, 투영 광학계의 이미지면측에는 액체를 항상 존재시킬 수 있기 때문에, 투영 광학계의 이미지면측의 광학부재에 워터 마크가 발생하는 것을 효과적으로 방지할 수 있다. |
