| 摘要 |
<p>본 고안은 직접분무식 수가습 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 클린룸 내부를 수가습하는 시스템에 있어서, 분무수 헤더와 압축공기 헤더가 각각 길이 방향으로 형성되는 매니폴드; 상기 분무수 헤더 및 상기 압축공기 헤더와 연결되도록 상기 매니폴드 상에 다수 배치되어 분무수와 압축공기를 분사시키는 노즐; 상기 노즐을 일률적으로 연결하는 연결부재; 상기 노즐을 개폐하는 솔레노이드 밸브; 및 상기 매니폴드의 일측에 설치되어 상기 노즐로 분무수를 공급하도록 상기 분무수 헤더와 연결되는 분무수 탱크를 포함한다. 본 고안에 의하면, 다수의 노즐을 연결부재에 의해 지지되게 하여 운반 시 노즐을 잡는 과정에서 발생되는 노즐 등의 파손 문제를 방지할 수 있고, 나선 체결된 노즐의 회전을 방지하여 누수발생도 방지하는 효과가 있다. 또한, 본 고안은, 노즐의 토출구를 제외한 나머지 부분과 솔레노이드 밸브를 감싸도록 캡(Cap)이 구비되어 외력에 의해 노즐 또는 솔레노이드 밸브가 손상되는 것을 방지하고, 좁은 공간에서도 연결부재를 노즐의 홀에 일률적으로 결합 또는 분리시킬 수 있는 효과가 있다.</p> |
