发明名称 適応的電荷平衡エッジ終端
摘要 一実施形態において、半導体デバイスは、第1型ドーパントを含む基板を備えることができる。また、この半導体デバイスは、上記基板の上方に配置され、当該基板よりも低濃度の上記第1型ドーパントを含むエピタキシャル層を備えることができる。また、この半導体デバイスは、上記エピタキシャル層内に配置され、第2型ドーパントを含む接合拡張領域を備えることができる。さらに、この半導体デバイスは、上記接合拡張領域と物理的に接触し、当該接合拡張領域よりも高濃度の上記第2型ドーパントを含む一組のフィールドリングを備えることができる。さらに、この半導体デバイスは、上記一組のフィールドリングと物理的に接触したエッジ終端構造を備えることができる。【選択図】 図1
申请公布号 JP2015521387(A) 申请公布日期 2015.07.27
申请号 JP20150515212 申请日期 2013.05.30
申请人 ヴィシェイ−シリコニックス 发明人 パタナヤク, ディーヴァ エヌ.;ティピルネニ, ナヴィーン;パタナヤク、ディバ エヌ.;ティピルネニ、ナビーン
分类号 H01L29/06;H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L29/06
代理机构 代理人
主权项
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