发明名称 |
二重電極を有する超広帯域幅変換器 |
摘要 |
広帯域幅圧電微小超音波変換器(pMUT)、pMUTアレイ、及び広帯域幅pMUTアレイを有するシステムを本明細書に説明する。例えば、圧電微小超音波変換器(pMUT)は、基板上に配置された圧電膜を含む。基準電極が、膜に結合される。第1及び第2の駆動/感知電極が膜に結合され、膜における第1及び第2のモードの振動を駆動又は感知する。【選択図】図1B |
申请公布号 |
JP2015521409(A) |
申请公布日期 |
2015.07.27 |
申请号 |
JP20150510308 |
申请日期 |
2013.04.19 |
申请人 |
フジフィルム ディマティックス, インコーポレイテッド |
发明人 |
ハジャティ アルマン |
分类号 |
H04R17/00;H01L41/047;H01L41/09;H01L41/113 |
主分类号 |
H04R17/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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