发明名称 二重電極を有する超広帯域幅変換器
摘要 広帯域幅圧電微小超音波変換器(pMUT)、pMUTアレイ、及び広帯域幅pMUTアレイを有するシステムを本明細書に説明する。例えば、圧電微小超音波変換器(pMUT)は、基板上に配置された圧電膜を含む。基準電極が、膜に結合される。第1及び第2の駆動/感知電極が膜に結合され、膜における第1及び第2のモードの振動を駆動又は感知する。【選択図】図1B
申请公布号 JP2015521409(A) 申请公布日期 2015.07.27
申请号 JP20150510308 申请日期 2013.04.19
申请人 フジフィルム ディマティックス, インコーポレイテッド 发明人 ハジャティ アルマン
分类号 H04R17/00;H01L41/047;H01L41/09;H01L41/113 主分类号 H04R17/00
代理机构 代理人
主权项
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