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<p>본 발명은 세리아 함유 폐연마재에 포함된 불순물을 효과적으로 제거하면서, 세척 공정을 포함한 재생 공정을 효율화할 수 있으며, 세척 공정 중의 세리아 함유 연마재의 재응집을 억제할 수 있는 세리아 함유 폐연마재의 재생 방법에 관한 것이다. 상기 세리아 함유 폐연마재의 재생 방법은 세리아(CeO) 함유 폐슬러지와, 불소계 화합물을 포함하는 용해제 용액을 혼합하여, 상기 폐슬러지에 포함된 실리카(SiO) 함유 불순물을 선택적으로 용해시키는 단계; 상기 세리아 함유 폐슬러지를 십자류 여과 시스템(Cross-flow fliltration system)에 통과시키면서 세정하여 상기 실리카(SiO) 함유 불순물을 선택적으로 제거하는 단계; 및 상기 세정된 세리아 함유 폐슬러지를 건조 및 소성하는 단계를 포함한다.</p> |
