SUBSTRATE TO WHICH FILM IS FORMED AND ORGANIC EL DISPLAY DEVICE
摘要
<p>사출구(86)를 구비한 증착원(85)과, 사출구(86)로부터 사출된 증착 입자가 통과하는 개구부(82)를 구비한 증착 마스크(81)를 갖는 증착 장치(50)에 의해, 개구부(82)를 통하여 증착 입자가 증착되어 이루어지는 증착층이 형성되는 TFT 기판(10)이며, 복수의 화소가 2차원적으로 배열된 화소 영역(A)을 가지며, 각 화소와 전기적으로 접속되는 복수의 배선(14) 단자가 증착층의 형성 영역 외에 집약되어 있다.</p>
