| 摘要 |
1. Узел магнетронного распыления, содержащий плоскую мишень, изготовленную из распыляемого материала, и внутренний магнитный блок, состоящий из расположенных под мишенью центрального постоянного магнита и бокового замкнутого магнитопровода, магнитно связанного с нижним полюсом центрального постоянного магнита посредством механического контакта с последним размещённой под ним магнитопроводящей пластины, имеющей исполнение единого целого с указанным боковым замкнутым магнитопроводом, изготовленным из её же материала, отличающийся тем, что упомянутая магнитопроводящая пластина изготовлена из магнитного распыляемого материала и представляет собой с центральным постоянным магнитом отработанный плоский катод-мишень с внешним магнитным блоком.2. Узел магнетронного распыления по п. 2, отличающийся тем, что плоская мишень выполнена из немагнитного распыляемого материала. |
