| 摘要 |
<p>본 발명은 소자 테스트용 픽업 장치의 압력조절 시스템 및 소자 테스트 장치에 관한 것이다. 본 발명의 하나의 실시예에 따라, 소자 테스트용 픽업 장치의 압력조절 시스템에 있어서, 픽업된 부품소자의 테스트 시, 제1 공기압에 따라 부품소자를 픽업하는 소자 파지부를 가압하는 가압부; 가압부로 공급되는 제1 공기압을 제어하는 제1 레귤레이터; 제1 레귤레이터의 후단의 유로 상에 설치되며 제1 레귤레이터와 사이에 제1 유로를 형성하는 제1 전자밸브; 가압부로 공급되는 제1 공기압 또는 가압부의 가압에 따라 소자 파지부에 의해 가해지는 압력을 감지하는 압력센서; 및 제1 전자밸브와 가압부 사이의 제2 유로 상에 설치되며, 압력센서에서 감지된 압력에 따른 유량제어신호에 따라 가압부로 제1 공기압이 소프트하게 제공되도록 제1 전자밸브로부터 공급되는 공기의 유량을 소프트 제어하는 미세유량제어밸브;를 포함하는 것을 특징으로 하는 소자 테스트용 픽업 장치의 압력조절 시스템이 제안된다. 또한, 소자 테스트용 픽업 장치가 제안된다.</p> |
