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<p>L'invention concerne une chambre à vide 10 comportant un porte-substrat 11 qui présente un plan d'appui et comportant aussi un orifice 15 d'entrée de gaz. Cette chambre est remarquable en ce que, cet orifice 15 débouchant dans une cloison 13 disposée face au porte-substrat 11, toute droite joignant cet orifice à la périphérie de cette cloison présente un angle d'inclinaison (α) par référence au plan d'appui.</p> |
