| 摘要 |
본 발명은 모재 상에 형성된 하부층과 상기 하부층상에 형성되는 α-AlO박막층의 핵생성 속도 및 성장 속도의 조절을 통해 α-AlO박막층의 밀착력을 크게 개선한 α-AlO박막에 관한 것이다. 본 발명에 따른 α-AlO박막은 초경합금으로 이루어진 모재 상에 형성된 하부층과, 상기 하부층 상에 형성되며, 그 전체 두께(T) 중에서 상기 계면층으로부터 0.15T까지의 D1층과, 0.15T에서 0.4T까지의 D2층과, 0.4T에서 1T까지의 D3층으로 구분하였을 때, S1(D3층 입도/D1층 입도)이 2~5.5이고, S2(D2층 입도/D1층 입도)이 1.5~4인 것을 특징으로 한다. |
