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<p>Verfahren zur Detektion der Fokuslage (40, 41, 42) auf einem Objekt (4), wobei mittels einer Fokussierungsoptik (12) Licht (5) einer Lichtquelle (2) auf ein Objekt (4) abgebildet wird, dadurch gekennzeichnet, dass aus dem Strahlengang zwischen der Lichtquelle (2) und der Fokussierungsoptik (12) parallel mehrfach vom Objekt (4) ausgehendes Licht (5) ausgekoppelt und jeweils mit einem Detektorelement (34, 35, 36) mittels eines Fokussierungselements (27, 28, 29) durch eine Blende (30, 31, 32) beobachtet und der Wert einer Messgröße ermittelt wird, wobei die Fokuslagen (40, 41, 42) der jeweiligen Fokussierungselemente (27, 28, 29) bezüglich der zugeordneten Blenden (30, 31, 32) unterschiedlich eingestellt werden, und dass durch einen Vergleich der jeweils ermittelten Werte der Messgröße auf die Fokuslage (40, 41, 42) der Fokussierungsoptik (12) bezüglich des Objekts (4) geschlossen wird.</p> |
