Anlage zur chemischen Gasphasenabscheidung mit Kohlenstofffaser-Filamenten sowie Verfahren zur Herstellung der Kohlenstofffaser-Filamente

摘要

Anlage zur Beschichtung von Oberflächen eines Substrats nach dem Verfahren der chemischen Hot-Filament-Gasphasenabscheidung, dadurch gekennzeichnet, dass die Filamente zur thermischen Anregung der Reaktionsgase aus Kohlenstofffasern bestehen, die eine Beschichtung aufweisen, wobei die unbeschichteten Kohlenstofffaser-Filamente einen Durchmesser im Bereich von 2μm bis 8μm aufweisen und der Gesamtdurchmesser des beschichteten Filaments kleiner als 18μm ist.