A polymer/inorganic multi-layer thin film encapsulation for organic electronic devices
摘要
<p>본 발명은 유기전자소자용 다층 박막 봉지에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 Si-O 결합을 갖는 십자형태의 유·무기 전구체 물질을 사용하여 제조되는 플라즈마 중합체 박막, 및 무기 박막을 포함하는, 유연성이 확보되고 봉지 특성이 향상된 유기전자소자용 다층 박막 봉지에 관한 것이다.</p>
