Modul zum Zuführen von Trocknungsgas und zum Abführen von mit Dampf beladenen Gas sowie Vorrichtung zum Trocknen eines Substrats

摘要

Die Erfindung betrifft ein Modul (M) zum Zuführen von Trocknungsgas und zum Abführen von mit Dampf beladenen feuchten Gas, mit einer Gaszuführkammer (1) mit zumindest einem ersten Anschlussstutzen (10) zum Zuführen von Trocknungsgas und einer eine Vielzahl von Durchbrüchen aufweisenden Gasverteilungsplatte (8) zum Entlassen des Trocknungsgases, und einer Gasabführkammer (2) mit zumindest einem zweiten Anschlussstutzen (11) zum Abführen des feuchten Gases und zumindest einem Gasansaugschlitz (9), wobei die Gasabführkammer (2) die Gaszuführkammer (1) zumindest abschnittsweise umgibt, so dass die Gaszuführkammer (1) und die Gasabführkammer (2) einen gemeinsamen Boden (B) eines Gehäuses (G) des Moduls (M) bilden, welcher die Gasverteilungsplatte (8) und eine Öffnung (O) des Gasansaugschlitzes (9) umfasst.