发明名称 Referenzausgasungsprobe und Verfahren zum Kalibrieren einer Ausgasungsmessvorrichtung
摘要 <p>Die Erfindung betrifft ein Referenzausgasungssystem mit einem Reservoir (12), das ein Fluid (14) oder Fluidgemisch enthält, wobei das Reservoir (12) eine Öffnung (16) besitzt, einem Verschluss (18), der eine Dichtung (20) umfasst, mittels der die Öffnung (16) verschlossen ist, und einer Transportvakuumkammer (22), die das Reservoir (12), den Verschluss (18) und die Dichtung (20) umgibt und in der ein Kammer-Druck (p22) von weniger als 10 Kilopascal, insbesondere 1 Kilopascal, herrscht.</p>
申请公布号 DE102014200907(A1) 申请公布日期 2015.07.23
申请号 DE201410200907 申请日期 2014.01.20
申请人 BUNDESREPUBLIK DEUTSCHLAND, VERTRETEN DURCH DAS BUNDESMINISTERIUM FÜR WIRTSCHAFT UND TECHNOLOGIE, DIESES WIEDERUM VERTRETEN DURCH DEN PRÄSIDENTEN DERPHYSIKALISCH-TECHNISCHEN BUNDESANSTALT BRAUNSCHWEIG;INSTITUTE OF METALS AND TECHNOLOGY (IMT) 发明人 JOUSTEN, KARL;SETINA, JANEZ
分类号 G01F25/00;G01L21/00;G01L27/00;G01M3/00 主分类号 G01F25/00
代理机构 代理人
主权项
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