| 摘要 |
<p>【課題】光電池セルの製造中に実施される、ＮＦ３プラズマなどを使用した一般的な洗浄プロセスに対して、実質的に耐性であるという特性を有するダイヤモンドライクカーボンコーティングが施された基板キャリアを提供する。【解決手段】保持フレーム２０３、サブキャリア保持面２１３、一又は複数のサブキャリアを横方向に保持するように構成される、少なくとも１つのサブキャリア保持凹部１０１Ａ、及びサブキャリア保持面上に形成される、ダイヤモンドライクカーボンコーティングを含むことを特徴とする。【選択図】図２</p> |
