新电介质氧化膜及其制造方法

摘要

通过从金属氧化物前体、溶剂和环氧化物的混合物生产溶胶以及由该溶胶制备金属氧化物材料来制备电介质氧化物材料。在各种变型中，该混合物还可以包括共溶剂、一种或多种其他金属氧化物前体、水、或玻璃形成氧化物的前体或其任意组合。所制备的电介质氧化物材料可以是具有高K值、低漏电以及低介电损耗角正切值的薄膜的形式。

主权项

一种制造金属氧化物材料的方法，包括：a)从由环氧化物、金属氧化物前体、玻璃形成氧化物前体以及溶剂的液体成分构成的混合物中产生溶胶；b)干燥所述溶胶来产生膜；以及c)退火所述膜来产生包括玻璃态的金属和非金属氧化物的混合物，其中，所述金属氧化物前体是过渡金属的醇盐，或者是与无机或有机配位体结合的过渡金属离子。