| 发明名称 | 静电夹具 | ||
| 摘要 | 一种静电夹具(12)包括电极(2)、位于电极上的阻性材料(6)的层、以及位于阻性材料上的电介质(8)的层，其中静电夹具进一步包括从电介质的层突出的突节(10)。 | ||
| 申请公布号 | CN104797979A | 申请公布日期 | 2015.07.22 |
| 申请号 | CN201380059623.X | 申请日期 | 2013.12.05 |
| 申请人 | ASML荷兰有限公司 | 发明人 | P·克洛普;B·梅尔藤斯;A·诺特布姆 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人 | 王茂华;张宁 |
| 主权项 | 一种静电夹具，包括：电极、位于所述电极上的阻性材料的层、以及位于所述阻性材料上的电介质的层，其中所述静电夹具进一步包括从所述电介质的层突出的突节。 | ||
| 地址 | 荷兰维德霍温 | ||