发明名称 热流传感器,包括至少一个此类传感器的气体传感器以及包括至少一个此类传感器的皮拉尼规
摘要 本发明涉及一种热流传感器,该热流传感器包括悬挂到支撑件上的至少一个第一悬挂元件(2),所述第一悬挂元件(2)由导电材料制成,所述悬挂元件(2)的第一偏置装置(6)以及用于测量悬挂元件(2)的末端处的电压的变化的第一测量装置(8),所述第一悬挂元件(2)由纳米线形成,并且所述第一偏置装置(6)由交变电流源形成,所述交变电流源的强度通过焦耳效应加热第一悬挂元件(2)。所述传感器能够采用多个悬挂纳米线的形式并能够基于气体的热导率测量的原理被用作气体传感器。
申请公布号 CN104797930A 申请公布日期 2015.07.22
申请号 CN201380060312.5 申请日期 2013.09.17
申请人 原子能和替代能源委员会 发明人 耶雷米·鲁伦;劳伦特·杜拉福格;朱利恩·阿卡莫尼;菲利浦·安德勒茨;艾瑞克·克莱特
分类号 G01N27/18(2006.01)I;G01N30/66(2006.01)I 主分类号 G01N27/18(2006.01)I
代理机构 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 代理人 徐川;武晨燕
主权项 一种热流传感器,包括:悬挂到支撑件上的至少两个元件,至少两个悬挂元件由支撑件上的n个第一悬挂元件(2、2.1、202.1)以及包括m个第二悬挂元件的m个第二元件形成,n为严格大于1的正整数,m为严格大于0的正整数,每个第一悬挂元件(2、2.1、202.1)都由导电材料制成,用于使每个第一悬挂元件(2、2.1、202.1)偏置的第一装置(6、6.1),以及用于测量每个第一悬挂元件(2、2.1、202.1)的末端处的电压的变化幅度的第一装置(8、8.1),每个第一悬挂元件(2、2.1、202.1)由至少一个纳米线形成,并且所述第一偏置装置(6、6.1)由交变电流源形成,所述交变电流源的强度通过焦耳效应提供每个第一悬挂元件(2、2.1、202.1)的加热,每个第二悬挂元件包括用于使每个第二悬挂元件(2.2、202.2)偏置的第二装置(6.2)以及用于测量每个第二悬挂元件(2.2、202.2)的末端处的电压的变化幅度的第二装置(8.2),所述第二偏置装置(6.2)由频率与所述第一偏置装置的频率不同的交变电流源形成或者由直流电流源形成。
地址 法国巴黎