| 摘要 |
<p>상면에 개구부가 형성되어 흡배기구를 가짐과 더불어, 내부에 스테이지와 하측 기판의 지지 로드 및 상측 기판의 지지 로드를 승강 가능하게 설치한 공실(空室) 하우징과, 상기 공실 하우징의 개구부를 덮는 유연성 및 투광성을 갖는 시트 부재와, 외형이 상기 공실 하우징과 대략 일치하는 형상이며 흡배기구를 가짐과 더불어, UV 투과 마스크를 내부에 수용하여 상기 시트 부재 상에 올려지는 UV 마스크 지지틀과, 상기 UV 마스크 지지틀 상면의 개구부를 덮는 가동 시일링반과, 상기 가동 시일링반의 위쪽에 배치된 광원부를 구비하며, 상기 공실 하우징 상에 시트 부재를 통해 UV 마스크 지지틀 및 가동 시일링반이 배치되었을 때, 상기 시트 부재를 경계로 하는 하부의 공실 하우징 내가 감압 가능한 제1 챔버가 되는 한편, 상기 시트 부재를 경계로 하는 상부의 UV 마스크 지지틀 및 가동 시일링반에 둘러싸인 내부가 감압 가능한 제2 챔버가 되도록 한다.</p> |
