一种碳纳米管冷阴极考夫曼离子源装置

摘要

本实用新型涉及一种新型离子源，特别涉及一种碳纳米管冷阴极考夫曼离子源装置。其特征在于：所述装置阴极由金属丝表面包覆碳纳米管构成。该装置还包括：金属丝采用钨丝材料，两端连接电极，碳纳米管垂直金属丝排列。与现有技术相比，该装置具有开启电压低(一般小于100伏)，阴极寿命长，电子输出稳定的优点。

主权项

一种碳纳米管冷阴极考夫曼离子源装置，包括进气口(1)、阴极(2)、阳极(3)、放电室(4)、磁棒(5)、屏极(6)、加速极(7)、中和灯丝(8)，其特征在于：所述装置阴极(2)由金属丝(22)表面包覆碳纳米管(21)构成。