| 发明名称 | 一种提高背腐蚀合格率的药液槽 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及一种提高背腐蚀合格率的药液槽，其特征在于：包括槽体，所述槽体包括左右两块侧板，所述槽体内部设置有若干滚轮，所述若干滚轮置于槽体底部，所述左右两块侧板呈圆弧形状，在所述槽体左右两个圆弧形状的侧板之间设置盖板，所述盖板置于槽体上方。将原设备的平行盖板设计成圆弧形，从而使冷凝的药液可以沿着圆弧盖板流回槽中，既减少了药液的损失，又提高了硅片的合格率，结构简单，设计合理，可操作性强，值得推广。 | ||
| 申请公布号 | CN204497257U | 申请公布日期 | 2015.07.22 |
| 申请号 | CN201520164337.6 | 申请日期 | 2015.03.23 |
| 申请人 | 中建材浚鑫科技股份有限公司 | 发明人 | 徐大伟 |
| 分类号 | H01L31/18(2006.01)I;H01L21/306(2006.01)I | 主分类号 | H01L31/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 苏州中合知识产权代理事务所(普通合伙) 32266 | 代理人 | 李中华 |
| 主权项 | 一种提高背腐蚀合格率的药液槽，其特征在于：包括槽体，所述槽体包括左右两块侧板，所述槽体内部设置有若干滚轮，所述若干滚轮置于槽体底部，所述左右两块侧板呈圆弧形状，在所述槽体左右两个圆弧形状的侧板之间设置盖板，所述盖板置于槽体上方。 | ||
| 地址 | 214400 江苏省无锡市江阴市申港镇镇澄路1011号 | ||