发明名称 EXHAUST TRAP
摘要 <p>포집 효율의 향상과 폐색의 저감을 양립 가능한 배기 트랩을 제공한다. 처리 장치로부터의 배기 가스를 유입시키는 유입구와, 상기 유입구로부터 유입된 상기 배기 가스를 유출시키는 유출구와, 제1 개구 치수를 갖는 1 또는 복수의 제1 개구부 및 상기 제1 개구 치수보다도 작은 제2 개구 치수를 갖는 복수의 제2 개구부를 갖고, 상기 유입구와 상기 유출구 사이에 있어서 상기 유입구로부터 상기 유출구로 흐르는 상기 배기 가스의 흐름의 방향과 교차하도록 배치되는 복수의 배플판을 구비하고, 상기 복수의 배플판 중 하나의 배플판의 상기 제1 개구부와, 인접하는 배플판의 상기 제1 개구부가 상기 흐름의 방향에 대하여 서로 어긋나 있고, 상기 복수의 배플판 중 인접하는 2개의 배플판의 간격이, 상기 제2 개구 치수의 0.5 내지 2배의 범위에 있는 배기 트랩에 의해 상술한 과제가 달성된다.</p>
申请公布号 KR101538830(B1) 申请公布日期 2015.07.22
申请号 KR20120097249 申请日期 2012.09.03
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/205 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
地址