| 发明名称 | 试样台、带电粒子束装置及试样观察方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及的带电粒子束装置将从带电粒子束显微镜(601)发出的一次带电粒子束，照射于构成试样台(600)的至少一部分的发光部件(500)上配置的试样(6)，通过发光部件(500)检测透射或散射试样(6)内部的带电粒子，从而取得带电粒子显微镜图像，同时将试样(6)配置于试样台(600)的状态下利用光学显微镜(602)取得光学显微镜图像。 | ||
| 申请公布号 | CN104798172A | 申请公布日期 | 2015.07.22 |
| 申请号 | CN201380060806.3 | 申请日期 | 2013.11.26 |
| 申请人 | 株式会社日立高新技术 | 发明人 | 大南佑介;大岛卓;伊东佑博 |
| 分类号 | H01J37/20(2006.01)I;H01J37/16(2006.01)I;H01J37/18(2006.01)I;H01J37/22(2006.01)I;H01J37/244(2006.01)I | 主分类号 | H01J37/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人 | 钟晶;李家浩 |
| 主权项 | 一种试样台，是将通过照射带电粒子束来观察的试样进行搭载的试样台，其特征在于，具有形成所述试样台的至少一部分且利用将所述试样的内部透射或散射的带电粒子而发光的发光部件，在所述发光部件上，直接或隔着规定的部件配置所述试样，至少在配置所述试样的部位，和所述试样台中与配置所述试样的部位相对的面之间，特定或全部波长区域的可见光或紫外光或红外光能够通过。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||