| 摘要 |
목적: 기판의 선단의 휨을 방지함으로써, 기판이 반송 장치 등에 충돌하는 것을 방지한다. 수단: 대상물을 기체에 의해 부상시켜 제1 방향으로 반송하는 반송 장치를, 상기 기체를 분출하여 상기 대상물에 압력을 부여함으로써 상기 대상물을 부상시키는 부상부; 상기 제1 방향으로 연장된 무단의 벨트와, 상기 벨트로부터 돌출되어 상기 대상물에 접촉 가능한 복수의 돌기를 포함하고, 상기 대상물을 상기 제1 방향으로 구동하는 반송부; 상기 대상물에 부압(負壓)을 부여하여 상기 대상물을 상기 반송부에 접촉하게 하는 흡인부; 및 상기 부상부 또는 상기 반송부에 포함되고 상기 대상물을 그 폭 방향 중앙에서 휘게 하는 변형 수단을 포함하도록 구성한다. |
