一种电感耦合式射频等离子体源

摘要

本发明公开了一种电感耦合式射频等离子体源，包括反应气体导入机构、等离子体发生机构、水冷机构、屏蔽机构和支撑连接机构，所述反应气体导入机构、等离子体发生机构、水冷机构和屏蔽机构通过支撑连接机构连接。该装置中的电感线圈在射频电流的驱动下，激发变化的磁场感生回旋电场。电子在有旋电场的加速下作回旋运动，与反应源气体分子碰撞将其电离。由于电子的回旋运动增加了与气体分子的碰撞，射频等离子体源可产生密度较高的等离子体，而且设备结构简单，能独立控制离子能量和等离子体密度。

主权项

一种电感耦合式射频等离子体源，其特征在于：包括反应气体导入机构、等离子体发生机构、水冷机构、屏蔽机构和支撑连接机构，所述反应气体导入机构、等离子体发生机构、水冷机构和屏蔽机构通过支撑连接机构连接；所述支撑连接机构包括法兰组件(19‑17)、以及穿过法兰组件(19‑17)的双层管件(9‑11)；所述反应气体导入机构与法兰组件(19‑17)相连接、包括控制导入气体的开启与关闭的角阀(25)，所述角阀(25)的一端与导气管接头(27)相连接，所述角阀(25)的另一端与三通连接件(29)相连接，所述三通连接件(29)与容纳反应气体的双层管件(9‑11)相连接；所述等离子体发生机构包括电极(16)、导波片(13)、绝缘管(12)、电感线圈(3)和真空介电窗(4)，所述电极(16)设置在法兰组件(19‑17)上，所述电感线圈(3)缠绕于真空介电窗(4)上，所述导波片(13)与电感线圈(3)相连接，所述绝缘管(12)套接在导波片(13)上；所述水冷机构包括设置在法兰组件(19‑17)上的进水管接头(18.1)、冷水管组件(20‑1)和出水管接头(18.2)，所述进水管接头(18.1)、冷水管组件(20‑1)和出水管接头(18.2)形成一闭合回路。