| 发明名称 | 用于使晶片在晶片支架上对准的装置 | ||
| 摘要 | 本发明所要解决的技术问题在于，改进在基座上自动化装载晶片。并且建议了一种用于使晶片在晶片支架(11)上对准的装置，所述装置具有用于套装晶片支架(11)的基础件(2)，其中，基础件(2)具有定心区段(3)，所述定心区段(3)与晶片支架(11)的对应定心区段(10)这样共同作用，从而使套装在基础件(2)上的晶片支架(11)占据一个预先确定的相对于基础件(2)的位置，所述装置还具有布置在基础件(2)上方的定心件(1)，所述定心件(1)具有相对于基础件(2)的预先确定的位置关系，并且所述装置还具有调节件支架(5)，在调节件支架(5)上在与晶片的外形轮廓相对应的布局中安置有调节件(6)，以便使晶片在平行于晶片支架(11)的支承面(11')的平面上对准。 | ||
| 申请公布号 | CN104798191A | 申请公布日期 | 2015.07.22 |
| 申请号 | CN201380060540.2 | 申请日期 | 2013.11.04 |
| 申请人 | 艾克斯特朗欧洲公司 | 发明人 | F.鲁戴威特;M.科尔伯格;R.普谢;T.巴斯特基 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/68(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人 | 侯宇 |
| 主权项 | 一种用于使晶片在晶片支架(11)上对准的装置，所述装置具有用于套装所述晶片支架(11)的基础件(2)，其中，所述基础件(2)具有定心区段(3)，所述定心区段(3)与所述晶片支架(11)的对应定心区段(10)这样共同作用，从而使套装在所述基础件(2)上的所述晶片支架(11)占据一个预先确定的相对于所述基础件(2)的位置，所述装置还具有布置在所述基础件(2)上方的定心件(1)，所述定心件(1)具有相对于所述基础件(2)的预先确定的位置关系，并且所述装置还具有调节件支架(5)，在所述调节件支架(5)上在与晶片的外形轮廓相对应的布局中安置有调节件(6)，以便使晶片在平行于所述晶片支架(11)的支承面(11')的平面上对准。 | ||
| 地址 | 德国黑措根拉特 | ||