基于整体式主基板与测量支架的光刻机投影物镜装配工装

摘要

本发明公开了一种基于整体式主基板与测量支架的光刻机投影物镜装配工装，用于将带有安装法兰的投影物镜装入主基板与测量支架中，所述装配工装包括：第一部分，套设于所述投影物镜的顶部；第二部分，套设于所述投影物镜的底部且位于所述安装法兰的下方；多个连接杆，连接所述第一部分、第二部分转轴，设于所述第一部分中部，位于所述投影物镜之上，所述转轴通过推力轴承与所述第一部分形成转动副。本发明安全有效地解决整体式结构的物镜安装问题，实现了投影物镜准确的安装，缩短了整机集成、主基板和测量支架的装配时间；且改善了整机内部世界的动态性能，提高了光刻机整机分辨率及套刻精度。

主权项

一种基于整体式主基板与测量支架的光刻机投影物镜装配工装，用于将带有安装法兰的投影物镜装入主基板与测量支架中，所述装配工装包括：第一部分，套设于所述投影物镜的顶部；第二部分，套设于所述投影物镜的底部且位于所述安装法兰的下方；多个连接杆，连接所述第一部分、第二部分；转轴，设于所述第一部分中部，位于所述投影物镜之上，所述转轴通过推力轴承与所述第一部分形成转动副，其特征在于，所述装配工装还包括导杆，所述第二部分上设有导向槽，所述导向槽为一段圆弧形，所述导杆一端固定于主基板，另一端穿设于所述导向槽，在光刻机投影物镜装配过程中起导向作用。