元件移送装置及方法

摘要

元件移送装置（1）通过吸嘴（31）取出由保持部（11、200）保持有多个的晶片状的芯片（100）。取得单元（19、40）取得保持部上的芯片的位置信息之后，在多个芯片中的第一芯片被吸附之前，再次取得该第一芯片的位置信息，从而将其更新。决定单元（40）（i）基于第一芯片的更新后的位置信息来决定用于使该第一芯片移动到拾取位置的移动量，（ii）并且基于对于在保持部上的以第一芯片为基准的规定范围内保持的第一芯片以外的芯片的位置信息进行了基于第一芯片的更新前的位置信息和更新后的位置信息的校正后的校正位置信息，决定用于使该芯片移动到拾取位置的移动量。移动单元（12、40）基于决定的移动量而使芯片向拾取位置移动。

主权项

一种元件移送装置，取出由保持部保持有多个的晶片状的芯片而向移送目的地移送，其特征在于，具备：保持所述芯片的保持部；取得由所述保持部保持的所述芯片的位置信息的取得单元；存储所述位置信息的存储单元；在规定的拾取位置吸附所述芯片的吸嘴；基于所述位置信息而决定用于使所述芯片移动到所述拾取位置的移动量的决定单元；基于所述移动量使所述保持部移动从而使所述芯片向所述拾取位置移动的移动单元；在所述保持部上设定以所述芯片为基准而设想为发生相同程度的位置变化的范围的范围设定单元，所述取得单元在取得所述保持部上的全部所述芯片的位置信息之后，在多个所述芯片中的第一芯片被所述吸嘴吸附之前，再次取得该第一芯片的位置信息从而更新该第一芯片的位置信息，不再次取得在所述保持部上以所述第一芯片为基准而设想为发生相同程度的位置变化的所述范围内所保持的所述第一芯片以外的芯片的位置信息，所述决定单元(i)基于所述第一芯片的更新后的位置信息来决定用于使所述第一芯片移动到所述拾取位置的移动量，(ii)并且基于所述第一芯片的更新前的位置信息和更新后的位置信息算出校正位置信息，基于所述校正位置信息对在所述保持部上以所述第一芯片为基准而设想为发生相同程度的位置变化的所述范围内保持的所述第一芯片以外的芯片的位置信息进行校正，基于校正后的所述位置信息来决定用于使在所述范围内保持的所述第一芯片以外的芯片移动到所述拾取位置的移动量。