RECORDING MEASUREMENTS BY SENSORS FOR A CARRIER HEAD

摘要

폴리싱 장치의 캐리어 헤드용 압력 제어 조립체는, 캐리어 헤드의 챔버에 유체 연결되도록 구성되는 압력 공급 라인; 챔버 내의 압력에 응답하여, 압력을 나타내는 신호를 발생시키도록 구성되는 센서; 및 공압 제어 유닛을 포함하며, 공압 제어 유닛은 신호를 수신하고, 압력 공급 라인에 인가되는 압력을 제어하며, 공압 제어 유닛에 제거 가능하게 부착되는 저장 디바이스의 비-일시적 저장 매체들에 신호를 기록하도록 구성된다.