一种LED光子晶体的制备方法

摘要

本发明涉及一种LED光子晶体的制备方法，采用Nd：YAG激光的三倍频激光束作为直接刻蚀激光，波长为λ，经分束镜分成三束相干激光，所述三束相干激光之间任意两束相干激光形成相同夹角θ，且所述三束相干激光均具有相同偏振方向，并同时汇聚在LED芯片的透明电极薄膜上；通过给予Nd：YAG激光器一个或者多个脉冲，最后形成了具有一定周期T和孔径大小的光子晶体。该方法可以一次完成在芯片表面制备光子晶体，工艺简单、方便快捷，无需掩没、后处理等步骤；所制备的光子晶体周期可控，通过改变夹角θ的范围即可得到周期为300nm-μm的光子晶体；加工面积大、加工低成本，适用于批量化、规模化生产。

主权项

一种LED光子晶体的制备方法，其特征在于，所述方法包括采用Nd：YAG激光的三倍频激光束作为直接刻蚀激光，波长为λ，经分束镜分成三束相干激光，所述三束相干激光之间任意两束相干激光形成相同夹角θ，且所述三束相干激光均具有相同偏振方向，并同时汇聚在LED芯片的透明电极薄膜上；通过给予Nd：YAG激光器一个或者多个脉冲，最后形成了具有一定周期T和孔径大小的光子晶体。