一种基于共振光隧穿效应的液体折射率传感器

摘要

本发明公开了一种基于共振光隧穿效应的液体折射率传感器，该传感器包括两个敏感单元、共振腔和衬底；所述敏感单元由具有抛光面的棱镜和低折射率介质层组成，所述低折射率介质层设置在棱镜的抛光面上；两个敏感单元对称设置在衬底上且低折射率介质层彼此相对；两个敏感单元的间隙构成共振腔；本发明利用倏逝波的谐振效应，打破了传统倏逝波测试方法亚波长测试范围的局限，可以测试具有一定尺寸的生物样品的内部折射率信息，同时本发明相较传统的法珀谐振腔、表面等离子共振等方法，具有更高的敏感度和更尖锐的特征峰，为新型折射率传感器的研制提供了新的手段，有助于进一步推动高灵敏度、大测量范围微纳型光折射率传感器的发展。

主权项

一种基于共振光隧穿效应的液体折射率传感器，其特征在于：包括两个敏感单元、共振腔和衬底；所述敏感单元由具有抛光面的棱镜和低折射率介质层组成，所述低折射率介质层设置在棱镜的抛光面上；两个敏感单元对称设置在衬底上且低折射率介质层彼此相对；两个敏感单元的间隙构成共振腔；所述低折射率介质层使用的介质材料的折射率低于1.33；所述共振腔的宽度为15‑20微米；所述衬底为顶面抛光平整的绝缘衬底。