发明名称 |
角加速度传感器 |
摘要 |
本发明的角加速度传感器(10)具有平板面,并包括固定部(12)、锤部(13)、以及梁部(14)。锤部(13)具有在平板面上向X轴负方向凹陷的凹部(13A)。固定部(12)具有在平板面上向X轴负方向突出并与凹部(13A)相对的凸部(12A)。梁部(14)在平板面上从凸部(12A)向Y轴正方向延伸,并在Y轴正方向的端部与凹部(13A)相连。固定部(12)和锤部(13)上的、与梁部(14)的连接位置附近的梁部附近区域(12B、13B)在平板面上以应力中立面(P)为界线呈面对称形。 |
申请公布号 |
CN104797943A |
申请公布日期 |
2015.07.22 |
申请号 |
CN201380060061.0 |
申请日期 |
2013.11.14 |
申请人 |
株式会社村田制作所 |
发明人 |
市丸正幸 |
分类号 |
G01P15/12(2006.01)I;H01L29/84(2006.01)I |
主分类号 |
G01P15/12(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 31100 |
代理人 |
宋俊寅 |
主权项 |
一种角加速度传感器,其特征在于,具有平板面,并包括:锤部,该锤部具有在所述平板面上向第一方向凹陷的凹部;固定部,该固定部具有在所述平板面上向所述第一方向突出并与所述凹部相对的凸部;梁部,该梁部在所述平板面上从所述凸部向与所述第一方向正交的第二方向延伸,并在所述第二方向侧的端部上与所述凹部相连;以及检测部,该检测部对所述梁部上产生的应力进行检测,所述固定部和所述锤部的至少一方的、与所述梁部的连接位置附近的梁部附近区域以通过所述梁部的中心并与所述第一方向正交的应力中立面为界线呈面对称形。 |
地址 |
日本京都府 |