一种提高图形线宽量测精度的对准方法

摘要

本发明公开一种提高图形线宽量测精度对准的方法，其中：S1：在掩模板上设置具有线条的图形结构；S2：对所述掩模板进行曝光晶圆，在交界处形成对准图形；S3：建立自动量测程序，对所述对准图形进行精度对准；S4：自动量测晶圆所需的结构图形。使用本发明的一种提高图形线宽量测精度对准的方法，通过有分隔线条和数字或字母的图形结构，能够有效地使SEM自动量测更容易对焦，大大提高了自动量测的效率。

主权项

一种提高图形线宽量测精度的对准方法，其特征在于，S1：在掩模板上设置具有线条的图形结构；S2：通过所述掩膜板对晶圆进行曝光，在不同曝光范围之间的交界处形成对准图形；S3：建立自动量测程序，对所述对准图形进行精确对准；S4：自动量测晶圆所需的结构图形；其中，所述对准图形为“十”字型，并且通过交界形成的四个部分具有数字或者字母线条图形。