发明名称 模块化的微电铸装置
摘要 本实用新型公开了一种模块化的微电铸装置,包括有电铸槽、循环过滤系统、温控系统、酸碱度测量仪和电极系统,电铸槽两端侧壁分别设有进、出液口,并分别连接有进、出液管;循环过滤系统的两端分别通过进、出液管与进、出液口相连接;电铸槽的上端设有盖板,盖板上分别设有多个开孔,温控系统通过多个开孔中的第一开孔伸入到电铸槽中,酸碱度测量仪通过多个开孔中第二开孔伸入到电铸槽中,电极系统通过多个开孔中的第三开孔伸入到电铸槽中。本实用新型采取模块化的配置,即插即用,通过相互独立的模块实现电铸液的温度控制和循环过滤,不仅有效提高了微电铸的效率和质量,而且结构简单,使用方便,易于维护,减少了设备成本和维护成本。
申请公布号 CN204491008U 申请公布日期 2015.07.22
申请号 CN201520098576.6 申请日期 2015.02.10
申请人 合肥工业大学 发明人 阮久福;张称;卢怡如;杨军;邓光晟
分类号 C25D1/00(2006.01)I 主分类号 C25D1/00(2006.01)I
代理机构 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 代理人 余成俊
主权项 一种模块化的微电铸装置,包括有电铸槽、循环过滤系统、温控系统、酸碱度测量仪和电极系统,其特征在于:所述电铸槽两端侧壁分别设有进、出液口,并分别连接有进、出液管;所述的循环过滤系统的两端分别通过所述进、出液管与所述进、出液口相连接;所述电铸槽的上端设有盖板,所述的盖板上分别设有多个开孔,所述的温控系统通过所述多个开孔中的第一开孔伸入到所述电铸槽中,所述的酸碱度测量仪通过所述多个开孔中第二开孔伸入到所述电铸槽中,所述的电极系统通过所述多个开孔中的第三开孔伸入到所述电铸槽中。
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