片式集成电路材料退镀单元

摘要

本实用新型公开了一种片式集成电路材料退镀单元，该片式集成电路材料退镀单元包括用于存放退镀液的退镀槽、设置在所述退镀槽上的至少一个退镀通道、以及设置所述退镀通道上的至少一个退镀机构；所述退镀机构包括在所述退镀通道长度方向上间隔设置的若干个传送辊组件、用于将片料与电源阳极电连接的第一导电件和用于将退镀液与电源阴极电连接的第二导电件；每一所述传送辊组件包括可反向转动以传送片料的上传送辊和下传送辊。本实用新型所提供的片式集成电路材料退镀单元片料传送效率高、且可保证退镀效果。

主权项

一种片式集成电路材料退镀单元，其特征在于，包括用于存放退镀液的退镀槽（1）、设置在所述退镀槽（1）上的至少一个退镀通道（3）、以及设置所述退镀通道（3）上的至少一个退镀机构（2）；所述退镀机构（2）包括在所述退镀通道（3）长度方向上间隔设置的若干个传送辊组件（21）、用于将片料与电源阳极电连接的第一导电件（221）和用于将退镀液与电源阴极电连接的第二导电件（222）； 每一所述传送辊组件（21）包括可反向转动以传送片料的上传送辊（211）和下传送辊（212）。